語系
繁體中文 简体中文 English

關於天燿

ABOUT
公司簡介

公司簡介

天燿股份有限公司（由原台灣富創得工程(股)公司于2024年10月更名）成立於2008年。是一個具有自主IP產權的半導體設備研發、製造、銷售客服產品公司。公司提供3大產品路線：（1）SMIF生產綫全自動密閉盒上下料load ports和物料管控ID（IR和RFID）自動化系統；（2）高精度無塵wafer robot和設備前端自動化系統（EFEM/Sorter）; (3)高溫無塵無氧晶圓烘烤箱（thermal curing oven）和批量生產自動化整合系統。

天燿股份有限公司SMIF上下料系統核心技術傳承於美國SMIF技術發明人 Fortrend Engineering，經過近20年的技術積累以及市場經驗，公司于2024年推出LPT+系列的全新200mm和300mm的SMIF load ports。在 wafer robot產品方面，公司也推出了全新的 Bravo系列robots，在產能、精度、穩定性、和無塵潔净度四方面，完美的提供目前市面上性價比最高的robot產品綫，也為公司提供的標準Sorter和客製化EFEM提供了更强大的市場競爭力。公司的FVO 烤箱系列，采用公司最新的多軸溫控技術，在(+60~450度) 的全程溫控範圍内，可以保證 (+/- 1%)設定溫度的溫控均匀度，并且在全程溫控範圍内保證優于Class-10的腔體内潔净度，提供了市場競爭的最高標準。公司的oven系統也因此贏得國內外先進晶圓廠訂單，成為三維積體電路(3DIC)高階封裝製程的設備的主流供應商。
更多

產品與技術

PRODUCTS

  • SIO-300-200 Series Low Temperature Vacuum Oven

    產品特色
    • 該烤箱系統集成了迷你環境、300mm Load Port、晶圓機器人、盒式機器人、烤箱和控制單元。
    • 實地驗證的應用：3DIC烘烤、光阻烘烤、濕氣去除、回流焊及熱處理。
    • 提供200mm盒式手動/自動加載選項。
    • 每盒可容納25片晶圓。
    • 廣泛的操作範圍：環境溫度 ~ 250°C。
    • 全自動操作。
    • 友好的操作界面。
    • 烘烤室潔淨度Class 10，整體烤箱系統潔淨度更佳。
    • 處理氣體輸入：氮氣 (N2)
    • 氮氣消耗量：0~50L/min
    • 溫度均勻性：± 3.5°C
    • 配方數量：可編程
    • 晶圓及機械手臂突出檢測
    • 主控制器：IPC – Windows 10或更新版本
    • 模組化設計，最小化調整、維護及停機時間
    • 熱處理室符合SEMI S2 S8標準

  • FVO-450 Series High Temperature Vacuum Oven

    產品特色
    • 每個腔室最多可容納 50 片 300mm 晶圓。
    • 低氧（背景氧含量低於 10ppm）
    • 持續的層流處理氣體與晶圓平行流動
    • 移除因熱膨脹釋放的氣溶膠顆粒
    • 均勻的氣體環境圍繞晶圓，有助於薄膜溶劑的蒸發與去除
    • 處理溫度範圍：環境 +20~450℃
    • 四個處理溫度控制區，穩定後溫度均勻性優於 ± 1℃
    • 最大加熱速率 8℃/分鐘，冷卻速率 4℃/分鐘
    • 處理氣體在進入腔室之前加熱至處理溫度
    • 符合 S2、S8 標準
    • 腔室真空排氣

  • 200 / 300mm Wafer Sorter and EFEM

    • 支援 200mm／300mm 晶圓傳輸
    • 搭載整合式除電器，適用於 Class 1 潔淨環境
    • 支援 SECS/GEM 通訊功能
    • 採用經天燿現場驗證的 Load Port 與 Robot，確保穩定效能

  • 310mm x 310mm Sorter and EFEM

    產品特色
    • 提供適用於 310mm 面板的分選機／EFEM（前端模組）
    • 可配置 1/2/4 個 Load Port，具備靈活的客製化選項
    • 支援 SECS（HSMS-SS）通訊標準
    • 提供相容 OHT（空中搬運系統）的 E84 介面
    • ID 系統：標準 RFID 讀取器（134.2KHz）（可選 IR 連接或條碼）
    • 可提供 CE / S2 / S8 認證
    • 完全符合 SEMI 工廠自動化標準（GEM300）
    • 提供 ISO 3 等級潔淨室規格選項
    • 全系統 100% 智慧財產權自主擁有

  • LPT+ S

    產品特色
    • 少於 90 秒的循環時間，最大化生產效率。
    • 小巧佔地節省寶貴的無塵室空間。
    • 傾斜與直進式末端執行器滿足特殊客戶需求。
    • 可調式載入高度提供人體工學效率。
    • 內建微環境與潔淨氣流系統，維持 Class 1 等級潔淨度。
    • 通過 CE 與 S2/S8 認證。

  • LPT+ Sx

    產品特色
    • 少於 90 秒的循環時間，最大化生產效率。
    • 小巧佔地節省寶貴的無塵室空間。
    • 傾斜滑動式末端執行器滿足特殊客戶需求。
    • 可調式載入高度提供人體工學效率。
    • 內建微環境與潔淨氣流系統，維持 Class 1 等級潔淨度。
    • 通過 CE 與 S2/S8 認證。

  • LPT+ R

    產品特色
    • 少於 90 秒的循環時間，最大化生產效率。
    • 小巧佔地節省寶貴的無塵室空間。
    • 旋轉式末端執行器滿足特殊客戶需求。
    • 可調式載入高度提供人體工學效率。
    • 內建微環境與潔淨氣流系統，維持 Class 1 等級潔淨度。
    • 通過 CE 與 S2/S8 認證。
更多產品與技術
選單
TOP