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200 / 300mm Wafer Sorter and EFEM
• 支援 200mm／300mm 晶圓傳輸
• 搭載整合式除電器，適用於 Class 1 潔淨環境
• 支援 SECS/GEM 通訊功能
• 採用經天燿現場驗證的 Load Port 與 Robot，確保穩定效能
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310mm x 310mm Sorter and EFEM
產品特色
• 提供適用於 310mm 面板的分選機／EFEM（前端模組）
• 可配置 1/2/4 個 Load Port，具備靈活的客製化選項
• 支援 SECS（HSMS-SS）通訊標準
• 提供相容 OHT（空中搬運系統）的 E84 介面
• ID 系統：標準 RFID 讀取器（134.2KHz）（可選 IR 連接或條碼）
• 可提供 CE / S2 / S8 認證
• 完全符合 SEMI 工廠自動化標準（GEM300）
• 提供 ISO 3 等級潔淨室規格選項
• 全系統 100% 智慧財產權自主擁有