產品與技術

PRODUCTS

PLM-200

特色
• 採用主動式自我氣流淨化設計，達到 Class 1 潔淨度
• 支援符合 SEMI 標準的 200mm SMIF 晶圓盒與光罩盒
• 全電動系統，具備可現場編程的應用軟體
• 晶圓／光罩突出感測器
• 四組可編程聯鎖訊號
• 具抗靜電功能的透明面板
• 基板突出感測器在運作期間保護光罩／晶圓
• 可輕鬆安裝於所有現有設備上

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