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300mm Load Port
產品特色
• 與所有符合 SEMI 標準的 300mm FOUP/FOSB 相容
• 符合 SEMI 標準：E15.1, E47.1, E57, E62, E64, E83, E110
• RS-232，TCP/IP通信介面
• 搭載 FOUP/FOSB 到位與放置感測器（含指示燈）
• 晶圓突出偵測功能
• FOUP/FOSB 防夾手安全設計
• BEOL/FEOL 安全鎖定插銷
• 支援 OHT 與 AGV 搬運介面
• 模組化設計，便於快速維修與更換
• 潔淨度等級達 Class 1 (粒徑 0.1 微米)
• 高可靠性
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310mm Panel FOUP Opener
產品特色
•相容 310mm x 310mm panel FOUP
•符合 SEMI 標準：E15.1、E47.1、E57、E62、E63、E64、E83、E110、S2、S8
•RS-232, TCP/IP通訊介面
•配備 FOUP 在位與放置感測器（含指示燈）
•基板突出偵測功能
•FOUP 防夾手安全設計
•BEOL／FEOL 安全鎖定插銷
•支援 OHT 與 AGV 搬運介面
•模組化設計，便於快速維修與更換
•潔淨度等級達 Class 1（粒徑 0.1 微米）
•高可靠性
•支援Web GUI 的維護程式
•符合 CE 安全規範
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300mm Load Port (All Electric FOUP Opener)
產品特色
• 與所有符合 SEMI 標準的 300mm FOUP/FOSB 相容
• 符合 SEMI 標準：E15.1, E47.1, E57, E62, E64, E83, E110
• RS-232 通信介面
• 搭載 FOUP/FOSB 到位與放置感測器（含指示燈）
• 晶圓突出偵測功能
• FOUP/FOSB 防夾手安全設計
• BEOL/FEOL 安全鎖定插銷
• 支援 OHT 與 AGV 搬運介面
• 模組化設計，便於快速維修與更換
• 潔淨度等級達 Class 1 (粒徑 0.1 微米)
• 高可靠性
• 支援 Web GUI 的維護程式
• 全電動驅動設計，無需氣壓或真空系統。
