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关于天燿

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公司简介

公司简介

天燿股份有限公司（由原台湾富创得工程(股)公司于2024年10月更名）成立于2008年。是一个具有自主IP产权的半导体设备研发、制造、销售客服产品公司。公司提供3大产品路线：（1）SMIF生产线全自动密闭盒上下料load ports和物料管控ID（IR和RFID）自动化系统；（2）高精度无尘wafer robot和设备前端自动化系统（EFEM/Sorter）; (3)高温无尘无氧晶圆烘烤箱（thermal curing oven）和批量生产自动化整合系统。

天燿股份有限公司SMIF上下料系统核心技术传承于美国SMIF技术发明人 Fortrend Engineering，经过近20年的技术积累以及市场经验，公司于2024年推出LPT+系列的全新200mm和300mm的SMIF load ports。在 wafer robot产品方面，公司也推出了全新的 Bravo系列robots，在产能、精度、稳定性、和无尘洁净度四方面，完美的提供目前市面上性价比最高的robot产品线，也为公司提供的标准Sorter和客制化EFEM提供了更强大的市场竞争力。公司的FVO 烤箱系列，采用公司最新的多轴温控技术，在(+60~450度) 的全程温控范围内，可以保证 (+/- 1%)设定温度的温控均匀度，并且在全程温控范围内保证优于Class-10的腔体内洁净度，提供了市场竞争的最高标准。公司的oven系统也因此赢得国内外先进晶圆厂订单，成为三维集成电路(3DIC)高阶封装制程的设备的主流供货商。
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产品与技术

PRODUCTS

  • SIO-300-200 Series Low Temperature Vacuum Oven

    产品特色
    • 该烤箱系统集成了迷你环境、300mm Load Port、晶圆机器人、盒式机器人、烤箱和控制单元。
    • 现场验证的应用：3DIC 烘烤、光阻烘烤、湿气去除、回流焊及热处理。
    • 提供 200mm 盒式手动/自动加载选项。
    • 每盒可容纳 25 片晶圆。
    • 广泛的操作范围：环境温度 ~ 250°C。
    • 全自动操作。
    • 友好的操作界面。
    • 烘烤室洁净度 Class 10，整体烤箱系统洁净度更佳。
    • 处理气体输入：氮气 (N2)
    • 氮气消耗量：0~50L/min
    • 温度均匀性：± 3.5°C
    • 配方数量：可编程
    • 晶圆及机械手臂突出检测
    • 主控制器：IPC – Windows 10 或更新版本
    • 模块化设计，最小化调整、维护及停机时间
    • 热处理室符合 SEMI S2 S8 标准

  • FVO-450 Series High Temperature Vacuum Oven

    产品特色
    • 每个腔体最多可容纳 50 片 300mm 晶圆。
    • 低氧含量（背景值低于 10ppm）
    • 工艺气体以层流形式平行于晶圆持续流动
    • 去除因热膨胀释放的气溶胶颗粒
    • 晶圆周围的均匀气体环境有助于薄膜溶剂的蒸发和去除。
    • 工艺温度范围：环境温度 +20～450℃
    • 四区工艺温控，稳定后温度均匀性优于 ±1℃
    • 最大加热速率为 8℃/分钟，冷却速率为 4℃/分钟
    • 工艺气体在进入腔体前加热至工艺温度
    • 符合 S2、S8 标准
    • 腔体真空排气

  • 200 / 300mm Wafer Sorter and EFEM

    • 支持 200mm／300mm 晶圆传输
    • 搭载整合式除电器，适用于 Class 1 洁净环境
    • 支持 SECS/GEM 通讯功能
    • 采用经天曜现场验证的 Load Port 与机器人，确保稳定性能

  • 310mm x 310mm Sorter and EFEM

    产品特色
    • 提供适用于 310mm 面板的分选机/EFEM（前端模块）
    • 可配置 1/2/4 个 Load Port，具备灵活的定制选项
    • 支持 SECS（HSMS-SS）通讯标准
    • 提供兼容 OHT（空中搬运系统）的 E84 接口
    • ID 系统：标准 RFID 读取器（134.2KHz）（可选 IR 连接或条码）
    • 可提供 CE / S2 / S8 认证
    • 完全符合 SEMI 工厂自动化标准（GEM300）
    • 提供 ISO 3 等级洁净室规格选项
    • 全系统 100% 知识产权自主拥有

  • LPT+ S

    产品特色
    • 小于 90 秒的循环时间，最大化生产效率。
    • 小巧占地节省宝贵的无尘室空间。
    • 倾斜与直进式末端执行器满足特殊客户需求。
    • 可调式载入高度提供人体工学效率。
    • 内建微环境与洁净气流系统，维持 Class 1 等级洁净度。
    • 通过 CE 与 S2/S8 认证。

  • LPT+ Sx

    产品特色
    • 小于 90 秒的循环时间，最大化生产效率。
    • 小巧占地节省宝贵的无尘室空间。
    • 倾斜滑动式末端执行器满足特殊客户需求。
    • 可调式载入高度提供人体工学效率。
    • 内建微环境与洁净气流系统，维持 Class 1 等级洁净度。
    • 通过 CE 与 S2/S8 认证。

  • LPT+ R

    产品特色
    • 小于 90 秒的循环时间，最大化生产效率。
    • 小巧占地节省宝贵的无尘室空间。
    • 旋转式末端执行器满足特殊客户需求。
    • 可调式载入高度提供人体工学效率。
    • 内建微环境与洁净气流系统，维持 Class 1 等级洁净度。
    • 通过 CE 与 S2/S8 认证。
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