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POS-150 G3
產品特色
• 小於 20 秒的循環時間，最大化生產效率
• 小巧佔地，節省寶貴的無塵室空間
• 自動載入與卸載光罩盒
• 可調式載入高度，提升人體工學效率
• 特別設計適用於 Class 1 潔淨等級環境
• 光罩突出感測器可防止光罩破裂
• 防撞偵測功能，在關閉光罩盒時避免人員受傷
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POS-150 G3P
產品特色
• 小於 20 秒的循環時間，最大化生產效率
• 小巧佔地，節省寶貴的無塵室空間
• 自動載入與卸載晶圓盒
• 可調式載入高度，提升人體工學效率
• 特別設計適用於 Class 1 潔淨條件
• 晶圓突出感測器可防止晶圓破裂
• 防撞偵測功能，在關閉晶圓盒時避免人員受傷
• 晶圓推進裝置可防止晶圓突出
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POS-200 G3
產品特色
• 小於 20 秒的循環時間，最大化生產效率
• 小巧佔地，節省寶貴的無塵室空間
• 自動載入與卸載 SMIF 卡匣
• 可調式載入高度，提升人體工學效率
• 特別設計，適用於 Class 1 潔淨條件
• 突出感測器可防止晶圓損壞
• 防撞偵測功能，避免人員在關閉載具時受傷