LPT+ R
產品特色
• 少於 90 秒的循環時間，最大化生產效率。
• 小巧佔地節省寶貴的無塵室空間。
• 旋轉式末端執行器滿足特殊客戶需求。
• 可調式載入高度提供人體工學效率。
• 內建微環境與潔淨氣流系統，維持 Class 1 等級潔淨度。
• 通過 CE 與 S2/S8 認證。
• 少於 90 秒的循環時間，最大化生產效率。
• 小巧佔地節省寶貴的無塵室空間。
• 旋轉式末端執行器滿足特殊客戶需求。
• 可調式載入高度提供人體工學效率。
• 內建微環境與潔淨氣流系統，維持 Class 1 等級潔淨度。
• 通過 CE 與 S2/S8 認證。
流程
SMIF pod 卡扣解鎖後，迷你環境艙上升並掀起 SMIF pod 上蓋，同時維持 SMIF pod 內部的 Class 1 超潔淨等級。機械手臂接著取出 Cassette 並放置於製程設備的工作台上。卸載時則執行相反流程。
功能與安全設計
- Cassette 到位感測器與晶圓突出偵測器
- Cassette 超載感測器
- 抗靜電塑膠觀察窗
- Cassette 夾具失效保護裝置
- 內建診斷系統
- 擁有 PIO 安全聯鎖裝置與可程式化巨集控制
- 停電復原系統(Power failure recovery system)：可自動將 Cassette 歸位至原始位置
型號資訊
| 類別 | LPT+ R |
| 設備尺寸（寬 x 深 x 高） |
35 x 50 x 184 公分 (13.7x20x72.4 吋) 標準載入高度：90 公分（可調整） |
| 重量 | 93 公斤 (206 磅) |
| 潔淨度 |
Class 1 潔淨等級 <0.1 PWP （粒子通過率），針對 0.2 微米或更大粒子 |
| 電源供應 |
標準 110v AC （可選配 220v）, 單相, 50/60Hz, 110v@3A / 220v@1.7A |
| 通訊介面 | Parallel I/0 （符合 SEMI E23-96 標準） 8 輸入 / 8 輸出 |
| EIA-RS232(SECS I/II) | |
| Ethernet Communication (TCP/IP, HEX Command) | |
| ID 讀寫裝置（選配） |
IR Link / RFID 系統 / IR-RF 組合 |
| 循環時間 |
小於 90 秒 |
| 平均故障間隔時間 | 2,000 小時 |
產品視圖
備註:
-
傳送高度取決於 Cassette 尺寸。
-
規格如有變更，恕不另行通知。