310mm Panel FOUP Opener
產品特色
•相容 310mm x 310mm panel FOUP
•符合 SEMI 標準：E15.1、E47.1、E57、E62、E63、E64、E83、E110、S2、S8
•RS-232, TCP/IP通訊介面
•配備 FOUP 在位與放置感測器（含指示燈）
•基板突出偵測功能
•FOUP 防夾手安全設計
•BEOL／FEOL 安全鎖定插銷
•支援 OHT 與 AGV 搬運介面
•模組化設計，便於快速維修與更換
•潔淨度等級達 Class 1（粒徑 0.1 微米）
•高可靠性
•支援Web GUI 的維護程式
•符合 CE 安全規範
•相容 310mm x 310mm panel FOUP
•符合 SEMI 標準：E15.1、E47.1、E57、E62、E63、E64、E83、E110、S2、S8
•RS-232, TCP/IP通訊介面
•配備 FOUP 在位與放置感測器（含指示燈）
•基板突出偵測功能
•FOUP 防夾手安全設計
•BEOL／FEOL 安全鎖定插銷
•支援 OHT 與 AGV 搬運介面
•模組化設計，便於快速維修與更換
•潔淨度等級達 Class 1（粒徑 0.1 微米）
•高可靠性
•支援Web GUI 的維護程式
•符合 CE 安全規範
規格
| 類別 | LPA-03-110 | |
| 載具類型 | 310mm x 310mm Panel FOUP | |
| 設備尺寸 | 472(W) x 591(D) x 1349(H) mm | |
| 重量 | 70.5kg ± 0.5kg | |
| 安裝方式 | 水平基準面 | 900mm ± 10mm |
| 螺栓固定方式 | ISO M8-6H | |
| 潔淨度 | Class 1 @ 0.1μm | |
| 循環時間 | FOUP 開啟: 含面板掃片 | 11 sec |
| FOUP 關閉: 無面板掃片 | 10 sec | |
| 行程範圍 | Y Axis: 70 mm (FOUP Move Forward and Backward) Z Axis: 370 mm (FOUP Door Up and Down) |
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| 通訊協議 | Serial RS-232C, TCP/IP | |
| 設備需求 | Power: 24 VDC 5 A CDA: 0.5-0.6 MPa, Ø6 Air Tube Vacuum: Minimum -80kPa, Ø6 Air Tube |
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| 選配項目 | RFID Reader Info Pad (Sensor) MFC control N2 Purging PIO Interface AMHS Communication Port |
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備註：規格如有變更，恕不另行通知。