310mm x 310mm Panel Sorter
產品特色
• 提供適用於 310mm 面板的分選機／EFEM（前端模組）
• 可配置 1/2/4 個 Load Port，具備靈活的客製化選項
• 支援 SECS（HSMS-SS）通訊標準
• 提供相容 OHT（空中搬運系統）的 E84 介面
• ID 系統：標準 RFID 讀取器（134.2KHz）（可選 IR 連接或條碼）
• 可提供 CE / S2 / S8 認證
• 完全符合 SEMI 工廠自動化標準（GEM300）
• 提供 ISO 3 等級潔淨室規格選項
• 全系統 100% 智慧財產權自主擁有
• 提供適用於 310mm 面板的分選機／EFEM（前端模組）
• 可配置 1/2/4 個 Load Port，具備靈活的客製化選項
• 支援 SECS（HSMS-SS）通訊標準
• 提供相容 OHT（空中搬運系統）的 E84 介面
• ID 系統：標準 RFID 讀取器（134.2KHz）（可選 IR 連接或條碼）
• 可提供 CE / S2 / S8 認證
• 完全符合 SEMI 工廠自動化標準（GEM300）
• 提供 ISO 3 等級潔淨室規格選項
• 全系統 100% 智慧財產權自主擁有
規格
| 類別 | 分選機規格 | |
| 2 ports | 4 ports | |
| 設備尺寸（寬 x 深 x 高） |
2041 x 1393 x 2250 毫米 |
3050 x 1393 x 2250 毫米 |
| 基板大小 | 310mm x 310mm | |
| 潔淨度 | Class 1 @ 0.1µm | |
| 產能 |
400 片／小時（不含 OCR 與對位機） |
|
| 末端執行器 | 真空吸盤或邊緣夾持器 | |
| 重複精度 | ± 0.1 毫米 | |
| 對位機重複精度 | ± 50 微米 | |
| 通訊協議 | SECS / GEM 或 HEX-TCPIP | |
| 平均故障處理時間 | ≤ 2 小時 | |
| 平均故障間隔時間 | ≥ 8,000 小時 | |
| 晶圓破損率 | 每 1,000,000 片晶圓中小於 10 片 | |
| 作業系統 | Windows 11 | |
| 軟體 | 天燿獨立開發 | |
| 功率需求 | 1~+PE 220VAC 50/60Hz , 3.3kW | 1~+PE 220VAC 50/60Hz , 4.4kW |
| 選項 | 玻璃邊緣檢測與機械手臂定位選項 | |
備註：規格如有變更，恕不另行通知。