POS-200 G3
產品特色
• 小於 20 秒的循環時間，最大化生產效率
• 小巧佔地，節省寶貴的無塵室空間
• 自動載入與卸載 SMIF 卡匣
• 可調式載入高度，提升人體工學效率
• 特別設計，適用於 Class 1 潔淨條件
• 突出感測器可防止晶圓損壞
• 防撞偵測功能，避免人員在關閉載具時受傷
• 小於 20 秒的循環時間，最大化生產效率
• 小巧佔地，節省寶貴的無塵室空間
• 自動載入與卸載 SMIF 卡匣
• 可調式載入高度，提升人體工學效率
• 特別設計，適用於 Class 1 潔淨條件
• 突出感測器可防止晶圓損壞
• 防撞偵測功能，避免人員在關閉載具時受傷
規格
| 類別 | POS 200-G3 |
| 基板 | 光罩/晶圓 |
| 光罩/晶圓尺寸 | 150mm 光罩 / 200mm 晶圓 |
| 設備尺寸 | 340 x 490 x 695 毫米 |
| 工作高度 | 795 毫米（含光罩盒殼體） |
| 升降行程 | 350 毫米 |
| 載重能力 | 5.4 公斤 |
| Pod 介面 | SEMI E19.4-0697 |
| 電源需求 | 110V/220V, 3A/1.4A, 50/60Hz |
| 重量 | 25 公斤（不含光罩盒） |
| 潔淨度 | Class 1 |
| 啟動時間 | 小於 20 秒 |
| Pod 開啟時間 | 小於 13 秒 |
| Pod 關閉時間 | 小於 13 秒 |
| 升降精度 | ± 0.1 毫米 |
| 夾具停止裝置 | 防撞條感測器 |
| Pod 到位感測器 | 1 組 |
| 光罩/晶圓突出感測器 | 1 組（突起感測器僅適用於晶圓） |
| Cassette 突出感測器 | 1 組 |
| 通訊介面 | EIA-RS232C(SECS I/II) |
| 識別裝置（選配） | RFID 模組或 IR Link |
| 遠程關機 | 有 |
| 操作 | 操作面板 / 主機通訊 |
| 環境 | 操作溫度：5-40℃ 操作濕度：5%-90% |
| 運行時間 | 99% |
| 平均故障間隔 |
≧ 50,000 次循環 |
| 平均復原時間 | ≦ 1 小時 |
備註：規格如有變更，恕不另行通知。