HMJ Robot
產品特色
• CAN OPEN 控制電路 – 最少配線，易於維護，電路易於擴充。
• 內建 Web GUI 控制／設定軟體，方便系統整合。
• 現場可編輯的巨集指令(micro commands)與運動參數設定，便於現場支援與調整。
• 潔淨度優於 Class 1 等級。
• 符合 CE/S2/S8 認證標準。
• 具備卓越的震動與噪音控制性能。
• 模組化設計，能快速因應客製化應用需求。
• 可配合有軌或無軌的客製需求。
• 多樣化的末端執行器設計，滿足各種應用需求。
• 可提供客製化的 Robot 配置與新設計。
• 靈活支援 RS232 與 TCP/IP 通訊協議。
• CAN OPEN 控制電路 – 最少配線，易於維護，電路易於擴充。
• 內建 Web GUI 控制／設定軟體，方便系統整合。
• 現場可編輯的巨集指令(micro commands)與運動參數設定，便於現場支援與調整。
• 潔淨度優於 Class 1 等級。
• 符合 CE/S2/S8 認證標準。
• 具備卓越的震動與噪音控制性能。
• 模組化設計，能快速因應客製化應用需求。
• 可配合有軌或無軌的客製需求。
• 多樣化的末端執行器設計，滿足各種應用需求。
• 可提供客製化的 Robot 配置與新設計。
• 靈活支援 RS232 與 TCP/IP 通訊協議。
規格
| 型號 | 規格 | |||
| 晶圓尺寸 | 300mm | |||
| 控制軸數 | 5 | |||
| 手臂類型 |
單臂 |
|||
| Z 軸類型 | 單 Z | |||
| 末端執行器數量 | 2 | |||
| 運動範圍 | R1/R2 軸 | 1230 毫米 | ||
| T 軸 | 330 度 | |||
| Z 軸 | 450 毫米 | |||
| 速度 | R1/R2 軸 |
480 毫米/秒 |
||
| E1/E2 軸 | 360 度/秒 | |||
| T 軸 | 240 毫米/秒 | |||
| Z1 軸 | 600 毫米/秒 | |||
| 重複精度 |
±0.1 毫米 |
|||
| 末端執行器自由旋轉 | 380˚ | |||
| 設備需求 |
真空： -80 kPa 以上，管徑Φ6mm 電源：單相 AC 220 ±10%, 50/60Hz |
|||
| 潔淨度 | Class 1 @ 0.1µm | |||
| 重量 | 90 公斤 | |||
| 末端執行器 | 真空吸取式 | |||
| 選配項目 |
軌道（X 軸） 晶圓到位檢測功能 末端執行器 |
|||
備註：規格如有變更，恕不另行通知。