ICCI SLC-99 控制器
產品特色
用於取代已淘汰的控制器：
• 擴散爐（Bruce、TEL、Thermco、Tystar、Tempress 等）
• Gasonics Hypox 系統
• ASM 與 Pacific Western Plasma CVD 系統
用於取代已淘汰的控制器：
• 擴散爐（Bruce、TEL、Thermco、Tystar、Tempress 等）
• Gasonics Hypox 系統
• ASM 與 Pacific Western Plasma CVD 系統