300mm Load Port
產品特色
• 與所有符合 SEMI 標準的 300mm FOUP/FOSB 相容
• 符合 SEMI 標準：E15.1, E47.1, E57, E62, E64, E83, E110
• RS-232，TCP/IP通信介面
• 搭載 FOUP/FOSB 到位與放置感測器（含指示燈）
• 晶圓突出偵測功能
• FOUP/FOSB 防夾手安全設計
• BEOL/FEOL 安全鎖定插銷
• 支援 OHT 與 AGV 搬運介面
• 模組化設計，便於快速維修與更換
• 潔淨度等級達 Class 1 (粒徑 0.1 微米)
• 高可靠性
• 與所有符合 SEMI 標準的 300mm FOUP/FOSB 相容
• 符合 SEMI 標準：E15.1, E47.1, E57, E62, E64, E83, E110
• RS-232，TCP/IP通信介面
• 搭載 FOUP/FOSB 到位與放置感測器（含指示燈）
• 晶圓突出偵測功能
• FOUP/FOSB 防夾手安全設計
• BEOL/FEOL 安全鎖定插銷
• 支援 OHT 與 AGV 搬運介面
• 模組化設計，便於快速維修與更換
• 潔淨度等級達 Class 1 (粒徑 0.1 微米)
• 高可靠性
規格
| 類別 | 規格 | |||
| 載具類型 | 25槽 SEMI 標準 300mm FOUP/FOSB | |||
| 設備尺寸（寬 x 深 x 高） |
472(W) x 586(D) x 1349(H) 毫米 |
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| 重量 | 66 公斤 | |||
| 安裝方式 | 水平基準面 | 900 ± 10 毫米 | ||
| 螺栓固定方式 | ISO M8-6H | |||
| 潔淨度 | Class 1 @ 0.1µm | |||
|
循環時間 (FOUP/FOSB) |
含晶圓掃片 |
17 秒 |
||
| 無晶圓掃片 | 10 秒 | |||
| 行程範圍 |
Y 軸: 70 毫米 (FOUP 前後移動) Z 軸: 380 毫米 (FOUP 門上下移動) |
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| 通訊協議 | Serial RS-232, TCP/IP | |||
| 設備需求 |
電源：DC24V, 5A CDA: 0.6 MPa, 10LPM, Ø6 氣管 真空：最小 -80kPa, 10LPM, Ø6 氣管
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| 選配項目 |
RFID 讀取器 PIO 介面 Info Pad A/B/C/D 感測器 氮氣（ N2） 置換流量控制 AGV 介面 200mm 載具對接平台 (adaptor) |
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備註：規格如有變更，恕不另行通知。