PLM-200
特色
• 採用主動式自我氣流淨化設計，達到 Class 1 潔淨度
• 支援符合 SEMI 標準的 200mm SMIF 晶圓盒與光罩盒
• 全電動系統，具備可現場編程的應用軟體
• 晶圓／光罩突出感測器
• 四組可編程聯鎖訊號
• 具抗靜電功能的透明面板
• 基板突出感測器在運作期間保護光罩／晶圓
• 可輕鬆安裝於所有現有設備上
• 採用主動式自我氣流淨化設計，達到 Class 1 潔淨度
• 支援符合 SEMI 標準的 200mm SMIF 晶圓盒與光罩盒
• 全電動系統，具備可現場編程的應用軟體
• 晶圓／光罩突出感測器
• 四組可編程聯鎖訊號
• 具抗靜電功能的透明面板
• 基板突出感測器在運作期間保護光罩／晶圓
• 可輕鬆安裝於所有現有設備上
規格
| 類別 | PLM-200 |
| 設備尺寸（寬 x 深 x 高） |
431.2 x 421.2 x 770.2 毫米 (17 x 16.6 x 30.2 吋) |
| 重量 | 約 23 公斤(約 51 磅) |
| 循環時間 | 小於 90 秒 |
| 平均故障間隔循環數 | 50,000 次循環 |
| 平均復原時間 | 少於 1 小時 |
| 電源需求 |
3A max, 24VDC 50/60 Hz, 110/220 VAC |
| 通訊介面 |
並列（Parallel）、序列（Serial）通訊 |
| 選配項目 | 晶圓定位器、RFID、IR Link |
介面轉接模組
PLM 工具標準（BOLTS-M）載具對接平台安裝介面（選配）：
- 具活動輪子的機械轉接板，設計用於安裝於 SEMI E63 300mm BOLTS-M 介面。
- 載入高度可調整，以符合 SEMI 標準 E117 的要求。
示意圖如下：
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備註：規格如有變更，恕不另行通知。