PLS 200系列
特色
• 超小佔地面積，節省寶貴的無塵室空間
• 支援紅外線（IR）或 RFID 讀寫功能
• LED 狀態指示燈
• 超小佔地面積，節省寶貴的無塵室空間
• 支援紅外線（IR）或 RFID 讀寫功能
• LED 狀態指示燈
規格
基本符合 SEMI 規範
| 類別 | PLS-200 |
|---|---|
| 設備尺寸（寬 x 深 x 高） | 340 x 430 x 119 毫米 |
| 重量 | 6.5 公斤 |
| 載重能力 | 12 公斤 |
| 電源需求 |
110/220VAC, 50/60Hz, 20W 開關按鈕 LED 指示燈 |
| Pod 介面 | E19.4-0697 |
| 循環時間 |
Pod 開啟時間：小於 6 秒 Pod 關閉時間：小於 6 秒 |
| 鎖定精確度 | ± 1 度 |
備註：規格如有變更，恕不另行通知。