Wafer Aligner
產品特色
• 創新、高效能，兼容Class 1
• 獨特的全合一設計，消除了外部控制器和連接電纜，同時保持插入式兼容性
• 掃描電子學、運動控制器和電源都包含在行業標準的腳印中
• 採用超低慣性無刷馬達驅動，提供平穩、即時的響應
• 高級掃描電子學，能夠檢測透明、半透明和不透明物體，且無需在不同大小之間進行機械重定位
• 與晶圓處理機器人無縫對接，支持從45mm到480mm的所有晶圓尺寸，以及相應大小的方形基板
• Logosol控制軟體，具有全面的指令集，支持與各種半導體平台的兼容性和介面
• 快速的對準週期時間有助於達到系統最大吞吐量
• 可作為獨立設備或嵌入式設備使用，並與晶圓處理機器人協同工作
• 保持選項包括真空、非真空和邊緣處理
• 創新、高效能，兼容Class 1
• 獨特的全合一設計，消除了外部控制器和連接電纜，同時保持插入式兼容性
• 掃描電子學、運動控制器和電源都包含在行業標準的腳印中
• 採用超低慣性無刷馬達驅動，提供平穩、即時的響應
• 高級掃描電子學，能夠檢測透明、半透明和不透明物體，且無需在不同大小之間進行機械重定位
• 與晶圓處理機器人無縫對接，支持從45mm到480mm的所有晶圓尺寸，以及相應大小的方形基板
• Logosol控制軟體，具有全面的指令集，支持與各種半導體平台的兼容性和介面
• 快速的對準週期時間有助於達到系統最大吞吐量
• 可作為獨立設備或嵌入式設備使用，並與晶圓處理機器人協同工作
• 保持選項包括真空、非真空和邊緣處理
規格
| 規格 | 預對準器型號 | ||||||||||||||
| 獨立式 | 嵌入式 |
邊緣處理 |
|||||||||||||
| 26-3 | 38-3 | 58-3 | 312-3 | 812-3 | 1218-3 | 25-1E | 38-1E | 58-1E | 312-1E | 812-1E | 1218-1E | 類型 | |||
|
晶圓直徑 |
2" | v | v | ||||||||||||
| 3" | v | v | v | v | v | v | |||||||||
| 100mm | v | v | v | v | v | v | 4EH, 45EH | ||||||||
| 125mm | v | v | v | v | v | v | v | v | 5EH, 45EH, 56EH | ||||||
| 150mm | v | v | v | v | v | v | v | 6EH, 56EH | |||||||
| 200mm | v | v | v | v | v | v | v | v | 8EH, 8ET | ||||||
| 300mm | v | v | v | v | v | v | 12ET | ||||||||
| 450mm | v | v | |||||||||||||
| 方形基板 | v | v | v | v | v | v | v | v | v | v | v | v | NA | ||
|
角度精度(3 Sigma) |
10000 CPR 編碼器 |
0.04∘ | NA | 0.06∘ | NA | 0.04∘ | |||||||||
|
24000 CPR 編碼器 |
0.02∘ | 0.04∘ | 0.02∘ | ||||||||||||
|
定位精度(3 Sigma) |
25µm | 50µm | 25µm | ||||||||||||
| 最大初始位移 | 10 毫米 | 12 毫米 | 9毫米 | 10 毫米 | 1.7 or 2.0 毫米 | ||||||||||
|
本體尺寸 |
寬 | 173 毫米 | 95 毫米 | 173 毫米 | |||||||||||
| 長 | 267 毫米 | 317 毫米 | 404 毫米 | 266 毫米 | 328 毫米 | 267 or 317 毫米 | |||||||||
| 高 | 190 毫米 | 191 毫米 | 190 to 206 毫米 | ||||||||||||
| 重量 | 5.0 to 5.7 公斤 | 3.4 to 3.8 公斤 | 5.3 to 6.0 公斤 | ||||||||||||
| 伺服軸 | 三個 | 一個 | 三個 | ||||||||||||
| 操作 | 真空夾具與銷釘 | 真空夾具 | 邊緣處理 | ||||||||||||
| 所需設施 | 100-240VAC, 50/60Hz, 48VA 或 24VDC/2A, 真空保持12" Hg | ||||||||||||||
| 主機介面 | RS232, Ethernet | ||||||||||||||
| 平面/缺口相容性 | 符合 SEMI 標準 | ||||||||||||||
| 晶圓容量 |
透明、半透明、不透明 |
||||||||||||||
| 潔淨度 | Class 1 | ||||||||||||||
| 平均故障間隔時間 | 超過 70000 小時 | ||||||||||||||
備註：規格如有變更，恕不另行通知。