產品與技術

• 200mm SMIF自動化
  • LPT+
  • PLM
  • PLS
  • POS
• Sorter及EFEM系統
  • EFEM - 前端上、下料自動化模組
  • Sorter - 自動晶圓篩選機
  • Load Port - 晶圓裝卸機
  • Wafer Aligner - 尋邊器
• Wafer 烘烤系統
  • 高溫烘烤設備
  • 低溫烘烤設備
• 機械手臂
  • Bravo 系列
• ICCI產品 - 爐管控制元件
  • GMI 主控系统
  • SLC-99 控制器
  • Super-TMX 爐管控制軟體